金宝博存款问题 |华林科纳CSE教你如何给半导体清洗设备台

 

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华林科纳CSE教你如何给半导体清洗设备台面布局
 

                              —华林科纳 技术部

 


经常有客户会找我们询问关于清洗设备的台面布局问题,今天就给大家这一方面的部分小建议(如果您拨打华林科纳CSE的客服热线400-8768-096还可以获取更多的专业的半导体清洗技术支持和免费方案哦)。

针对金属刻蚀机、酸碱刻蚀机、以及硅片制绒腐蚀机等设备的台面布局首先腐蚀性较强槽体设置在靠近抽风口处,水槽、吹干槽靠近操作者一侧。常规条件下槽与槽之间的距离(前后 槽最大边沿之间为80mm100mm,左右 槽最大边沿之间为100mm120mm,根据所配置元器件的安装空间、客户现场尺寸规定,可以调整以上距离);

水枪配在靠近酸槽一侧,氮气枪配在靠近水槽、干燥槽一侧。一般情况下设备的气枪弹簧管为PU材质,不耐酸气,目前大都把水汽枪放在设备的侧面或前面(放前面的话不要影响操作机台)。

槽体上配的 加热器、超声、浮子、探头、管道等均要设置在槽的后侧(即远离操作者这一侧),取放工件时不易将液体滴落上去,也避免工件刮蹭到,缩短工件放置的位置与机台前部的距离,便于操作者工作。

如台面需分成多个区域,之间隔断根据客户需求可以做成固定式、多片移到重叠式,台面板设计合理、美观、便于取放、保证平整度。
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